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光學(xué)NanoGauge C12562-04 

詳細(xì)參數(shù)

*1 轉(zhuǎn)換時玻璃的折射率是1.5 

*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標(biāo)準(zhǔn)偏差（公差） 

*3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù) 

*4 測量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件***致 

*5 ***短曝光時間

產(chǎn)品特性

● 測量范圍從薄膜厚度到總厚度 

● 縮短循環(huán)時間（***大100 Hz） 

● 外部觸發(fā)器增強(qiáng)（適用于高速測量） 

● 系統(tǒng)中新增簡化測量法

● 可進(jìn)行表面分析 

● 非恒定膜層的精確測量 

● 分析光學(xué)常數(shù)（n, k） 

● 可外部控制

外形尺寸（單位：mm）

• 產(chǎn)品優(yōu)勢

• 
  

  C12562型光學(xué)納米膜厚測量系統(tǒng)是***款小型緊湊、節(jié)省空間、安裝方便的非接觸式薄膜厚測量系統(tǒng)。在半導(dǎo)體工業(yè)中，硅通孔技術(shù)的普及使得硅厚度測量變得必不可少；在薄膜生產(chǎn)工業(yè)中，越來越高的產(chǎn)品需求使得粘合層薄膜的制作朝著越來越薄的方向發(fā)展。因此，這些工業(yè)領(lǐng)域需要更高精度、測量范圍可以覆蓋1μm到300μm的厚度測量系統(tǒng)。C12562可以對厚度范圍從0.5μm到300μm的薄膜進(jìn)行精確測量，包括薄膜鍍層厚度和薄膜襯底厚度以及總厚度。C12562可以進(jìn)行高達(dá)100 Hz的快速測量，因此非常適合高速生產(chǎn)線測量。