非接觸三維形貌測量儀
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產品詳細介紹: 形貌測量軟件包 Y向驅動:依所用X/Y工作臺而定,測量原理:探針式 達100mm 驅動器:可直接連接PGK、PZK:PRK通過PAV 62 參數:可選擇不同的新的三維特征 適配器連接:PCV, PPT100可直接連接 視圖測量范圍:(µm)±25,±250,±2500,±25000 輪廓點間距:依所用驅動器而定掃描長度:依所用驅動器而定,達200mm