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Q150GB全自動高真空濺射鍍膜儀（用于手套箱）

主要特點(diǎn)：
? 可安裝在手套箱內(nèi)的模塊化系統(tǒng)
? 整體手套箱壓力監(jiān)測
? 金屬濺射、碳蒸發(fā) – 或二者兼有
? 觸摸屏控制模塊置于手套箱外部操作
? 鍍膜顆粒精細(xì)
? 高真空渦輪分子泵抽真空
? 可選通過膜厚監(jiān)控儀實(shí)現(xiàn)厚度控制

Q150GB全自動高真空濺射鍍膜儀（用于手套箱）

技術(shù)參數(shù)：
技術(shù)規(guī)格
儀器尺寸:267mm W x 490mm D x 494mm H 總重量:40公斤
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃152mm Dia (內(nèi)部) x 214mm H
安全鐘罩:整體PET
樣品臺：直徑為50mm的旋轉(zhuǎn)樣品臺。轉(zhuǎn)速8-20 rpm
真空范圍: 10-5 mbar量級
濺射可選靶材：Au金、Au/Pd金鈀合金、Pt鉑、Pt/Pd鉑鈀合金、Ag銀、Al鋁、C碳、Cr鉻、Co鈷、Cu銅、Fe鐵、Ir銥、Mg鎂、Mo鉬、Ni鎳、Pd鈀、Sn錫、Ta鉭、Ti鈦、W鎢、ITO氧化銦錫等

蒸發(fā)源：可選用碳棒進(jìn)行熱蒸發(fā)鍍碳，也可使用鎢絲籃或鎢舟/鉬舟進(jìn)行熱蒸發(fā)鍍各種金屬膜。

 

Q150GB全自動高真空濺射鍍膜儀（用于手套箱）

儀器簡介：
英***Q150GB渦輪泵高真空、模塊化鍍膜系統(tǒng)，自動程序控制，傻瓜相機(jī)式的簡單操作。其鍍膜單元可置于各種手套箱內(nèi)，外置觸摸屏用戶界面、電源單元和前***機(jī)械泵。可監(jiān)測手套箱壓力。該系統(tǒng)不同的配置可以實(shí)現(xiàn)離子濺射鍍膜、碳蒸發(fā)/金屬蒸發(fā)鍍膜或?yàn)R射蒸發(fā)二者兼有之功能，可用于SEM、TEM及薄膜樣品鍍膜，也常用于鋰電池科研等需要在手套箱內(nèi)鍍膜的樣品。