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儀器簡介：

Quanta x50系列掃描電子顯微鏡是FEI公司zui新***代的、真正的多用途掃描電鏡，是zhu名的Quanta產品***族的第三代產品。 

主要特點：

1.FEI ESEM(環境掃描電鏡)技術, 可在高真空、低真空和環境真空條件下對各種樣品進行觀察和分析。

2.所有真空條件下的二次電子、背散射電子觀察和微觀分析。

3.的系統結構平臺，全數字化系統。

4.可同時安裝能譜儀、波譜儀和EBSP系統。

5.可安裝低溫冷臺、加熱臺、拉伸臺等進行樣品的原位、動態觀察和分析。

技術參數：

1.分辨率:

　二次電子:

　　高真空模式 3.0nm @ 30kV, 8nm @ 3kV

　　高真空減速模式 7nm @ 3kV (可選項)

　　低真空模式 3.0nm @ 30kV, 10nm @ 3kV

　　環境真空模式 3.0nm @ 30kV

　    背散射電子 4.0nm @ 30kV

2.樣品室壓力zui高達2600Pa

3.加速電壓200V ～ 30kV，連續調節

4.樣品臺移動范圍

　Quanta 250: X=Y=50mm

　Quanta 450: X=Y=100mm

　Quanta 650: X=Y=150mm