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二十多年來，基于日漸完善的Gemini技術(shù)，GeminiSEM具有完整高效的檢測系統(tǒng)、極高的分辨率以及簡便的操作方式。Gemini物鏡設(shè)計將靜電場與磁場結(jié)合，可在限度地提升光學性能的同時將場發(fā)射對樣品的損傷降至。此設(shè)計確保了極佳的成像質(zhì)量，即使是較具挑戰(zhàn)性的磁性材料也同樣可以達到良好的成像效果。通過二次電子和背散射電子的檢測也使得高效率的信號探測成為可能。探測器安裝在光軸上，可以減少調(diào)整時間，并可限度地降低成像時間。Gemini電子束加速器技術(shù)確保了小的探針尺寸和高的信噪比，以達到超低的加速電壓。

【技術(shù)參數(shù)】

分辨率： 0.8nm @15 kV   1.4 nm @1kV

放大倍數(shù)：12-2,000,000×

加速電壓：調(diào)整范圍：0.02-30 kV（無需減速模式實現(xiàn)）

探針電流： 3pA-20nA（100nA可選）

低真空范圍： 10-500Pa （GeminiSEM300 VP可用）

樣品室： 330 mm（φ），270 mm（h）

樣品臺：5軸優(yōu)中心全自動    

X=130mm

Y=130mm

Z=50 mm

T=-3o-70o

R=360o 連續(xù)

系統(tǒng)控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系統(tǒng)，可選鼠標、鍵盤、控制面板控制

【產(chǎn)品應用】       

掃描電鏡(SEM)廣泛地應用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學、化工、石油、地質(zhì)礦物學、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等 檢驗和研究。在材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學材料等領(lǐng)域進行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分 析和失效分析，材料實時微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶 粒取向測量。