測(cè)量儀 三坐標(biāo)測(cè)量儀是指在***個(gè)六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長度及圓周分度等測(cè)量能力的儀器，又稱為三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)或三坐標(biāo)量床。三坐標(biāo)測(cè)量儀又可定義“***種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測(cè)器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測(cè)器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號(hào)，三個(gè)軸的位移測(cè)量系統(tǒng)（如光柵尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)（x，y，z）及各項(xiàng)功能測(cè)量的儀器”。三坐標(biāo)測(cè)量儀的測(cè)量功能應(yīng)包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。編輯本段三坐標(biāo)測(cè)量介紹（1）介紹
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的生產(chǎn)廠***有很多，比如3DFAMILY、ZEISS（蔡司）、HEXAGON（青島海克斯康）、EUROTONE（上海歐潼）、WENZEL（溫澤）、Mitutoyo（三豐）、佛迪、雷頓、愛德華、西安力德、思瑞等。
（2）機(jī)型介紹
行 程： X軸 2500 mm Y軸 1500 mm Z軸 1000 mm 結(jié)構(gòu)型式：三軸花崗巖、四面全環(huán)抱的德式活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu) 傳動(dòng)方式：直流伺服系統(tǒng) + 預(yù)載荷高精度空氣軸承 長度測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.1μm 測(cè)頭系統(tǒng)：雷尼紹控制器、雷尼紹測(cè)頭、雷尼紹測(cè)針 機(jī) 臺(tái)：高精度（00***）花崗巖平臺(tái) 使用環(huán)境：溫度（20±2）℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h 空氣壓力：0.4 MPa - 0.6 Mpa 空氣流量：25 L/min 長度精度MPEe： ≤2.1+L/350 （μm） 探測(cè)球精度MPEp： ≤2.1μm
（3）主要特征
1.三軸采用天然高精密花崗巖導(dǎo)軌，保證了整體具有相同的熱力學(xué)性能，避免由于三軸材質(zhì)不同熱膨脹系數(shù)不同所造成的機(jī)器精度誤差。 花崗巖與航空鋁合金的比較 ： 1）鋁合金材料熱膨脹系數(shù)大（參數(shù)見下表）。***般使用航空鋁合金材料的橫梁和Z軸在使用幾年之后，三坐標(biāo)的測(cè)量基準(zhǔn)——光柵尺就會(huì)受損，精度改變。 材料 比重
（kg/dm³） 熱膨脹系數(shù)
（1/K） 截面導(dǎo)熱率
（W/mK）
鋼 7.80 10.4X10 42-63
航空鋁合金 2.90 23.8X10 210
陶瓷材料 3.40 8.0X10 28
花崗巖 2.77 6.5X10 3.5
2）由于三坐標(biāo)的平臺(tái)是花崗巖結(jié)構(gòu)，這樣三坐標(biāo)的主軸也是花崗巖材質(zhì)。主軸采用花崗巖而橫梁和Z軸采用鋁合金等其他材質(zhì)，在溫度變化時(shí)會(huì)因?yàn)槿S的熱膨脹系數(shù)不均同而引起測(cè)量精度的失真和穩(wěn)定。 2. 三軸導(dǎo)軌采用全天然花崗巖四面全環(huán)抱式矩形結(jié)構(gòu)，配上高精度自潔式預(yù)應(yīng)力氣浮軸承，是確保機(jī)器精度長期穩(wěn)定的基礎(chǔ)，同時(shí)軸承受力沿軸向方向，受力穩(wěn)定均衡，有利于保證機(jī)器硬件壽命。 3. 采用小孔出氣專利技術(shù)，耗氣量為30L/Min，在軸承間隙形成冷凝區(qū)域，抵消軸承運(yùn)動(dòng)摩擦帶來的熱量，增加設(shè)備整體熱穩(wěn)定性。采用歐潼小孔出氣的技術(shù)，使得冷凝效應(yīng)恰恰抵消測(cè)量中因?yàn)榭諝饽Σ廉a(chǎn)生的微弱熱量，使得設(shè)備保持長時(shí)間的溫度穩(wěn)定性，從而保證精度穩(wěn)定性！氣浮軸承 歐潼的四面環(huán)抱軸承技術(shù)，保證驅(qū)動(dòng)平順穩(wěn)定 三面氣浮軸承 兩面或三面環(huán)抱 每分鐘 耗氣量 30L/MIN 150L/MIN 70L/MIN 主支撐 高于臺(tái)面，中心低，比較粗短，運(yùn)行穩(wěn)定，程度減少阿貝誤差 主支撐和臺(tái)面相平，細(xì)長，重心高，運(yùn)行時(shí)候阿貝誤差較大
4. 三軸均采用英***RENISHAW原裝鍍金光柵尺，分辨率為0.1um；同時(shí)采用***端固定，***端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形。 5.傳動(dòng)系統(tǒng)采用***際先進(jìn)的設(shè)計(jì)，無任何導(dǎo)軌受力變形，程度保證機(jī)器精度和穩(wěn)定性。采用鋼絲增強(qiáng)同步帶傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，有效減少高速運(yùn)動(dòng)（增加）時(shí)的震動(dòng)，具有高強(qiáng)度，高速度及無磨損特點(diǎn)。 6. 軟件為PTB全面認(rèn)證的業(yè)界標(biāo)桿RATIONAL-DMIS，功能強(qiáng)大，簡單易學(xué)，讓你更專注于產(chǎn)品測(cè)量而不是學(xué)習(xí)軟件。
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