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***般情況下，Y軸的導(dǎo)向面會在石平臺右側(cè)再設(shè)置1個導(dǎo)向面（副導(dǎo)軌）。復(fù)式架橋結(jié)構(gòu)通過將石平臺

的兩側(cè)都作為導(dǎo)向面，可防止副導(dǎo)軌連接處（螺絲、粘著等）的老化，從而長期保證穩(wěn)定的精度。

結(jié)構(gòu)簡單，也提高剛性。同時，由于導(dǎo)向面易于加工，因此，可實(shí)現(xiàn)高精度。

抑制Z（上下）方向驅(qū)動時產(chǎn)生的振動、新開發(fā)的A.V.D（Anti Vibration Drive）機(jī)構(gòu)

Z軸驅(qū)動時產(chǎn)生的振動是由驅(qū)動電機(jī)自身旋轉(zhuǎn)不均導(dǎo)致的，單純的摩擦驅(qū)動會將電機(jī)的振動直接傳遞到Z軸。

SVA-A通過采用借助鋼帶驅(qū)動Z軸的機(jī)構(gòu)，減輕了振動。

同時，在Z軸的重量平衡結(jié)構(gòu)中采用了氣缸平衡結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了輕量化，并通過新設(shè)計的雙重滑輪方式實(shí)現(xiàn)了緊

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