激光干涉儀是激光的應用，它以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外，如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
1960年，Maiman研制成功臺紅寶石激光器，從此，激光干涉測量被廣泛地用于長度、角度、微觀形貌、轉速、光譜等領域，并和微電子技術、計算機技術集成，成為現代干涉儀。
1982年，G·Binning和Rohere研制成功掃描隧道顯微鏡，1986年發明原子力顯微鏡，1986年獲得諾貝爾獎，從此開始了干涉儀向納米、亞納米分辨率和精度前進的新時代。
由于激光具有極好的時間相干性，因此，據此研發了多種激光干涉儀，包括單頻激光干涉儀、雙頻干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅干涉儀、X射線干涉儀等。
深圳市中圖儀器科技有限公司于2015年上半年在***內推出高性能重大產品——SJ6000激光干涉儀。此款儀器在第十四屆中***機床展上***次亮相后，便備受業內人士的關注，相信對激光干涉測量技術的發展有著積極的推動作用。
SJ6000激光干涉儀顯著特點
1.測量精度高、速度快，穩定性好
①使用美***高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm***
③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。
④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析
③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。
②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到***個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
③向導式操作，流程清晰，更符合***內用戶的使用習慣。
4 性價比高
性能達到了***外儀器的水準，價格是***內儀器的良心價。
四.sj6000激光干涉儀技術參數
技術線性測長精度：±0.5ppm(0~40℃)
激光穩頻精度：0.05ppm
分辨率：0.001um
滬公網安備31011502016460號
