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參數(shù)規(guī)格

CL系列總體規(guī)格特點(diǎn)                                                                                       

  重量:

         CL-4 50KG左右（帶顯微鏡）

         CL-6 60KG左右（帶顯微鏡）

         CL-8 80KG左右（帶顯微鏡）

  尺寸：

         CL-4約 560mm寬*610mm長(zhǎng)*550mm高（帶顯微鏡）  

         CL-6 約600mm長(zhǎng)*650mm寬*600mm高（帶顯微鏡）

         CL-8 約640mm長(zhǎng)*720mm寬*620mm高（帶顯微鏡）

CL系列探針座臺(tái)面規(guī)格

  探針臺(tái)臺(tái)面平整度：5μm。

  CL-4臺(tái)面可以同時(shí)容納8-10個(gè)探針座

    CL-6，CL-8分別可以同時(shí)容納10-12個(gè)探針座

    CL-12臺(tái)面可以同時(shí)容納12個(gè)以上探針座

卡盤(pán)（載物臺(tái)）規(guī)格  （可選配鍍金卡盤(pán)，高溫加熱卡盤(pán)）

  卡盤(pán)尺寸分為4" ，6"，8"三種

卡盤(pán)平整度：5μm，采用空吸附方式吸附，帶空吸附孔，中心孔徑小可做到250微米（可根據(jù)客戶(hù)需求定制孔徑大小），小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，大能夠吸住尺寸為4"X4"（6"X6"，8"X8"）。

  卡盤(pán)可30度旋轉(zhuǎn)，方便點(diǎn)測(cè)時(shí)樣在X-Y軸方向上調(diào)平。（根據(jù)客戶(hù)需要可定制為360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕）。

  卡盤(pán)X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤(pán)做X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍為4"X4"（6"X6"，8"X8"），移動(dòng)精度為20um，配合針座的移動(dòng)可以保證wafer上的die都能夠準(zhǔn)確點(diǎn)測(cè)到。