高低溫真空探針臺
價 格：詢價
產 地：更新時間：2021-05-12 14:16
品 牌：其他型 號：CGO-2
狀 態(tài)：正常點擊量：1093
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產品參數(shù)
高低溫真空探針臺
控溫范圍 | 4K-480K |
溫度穩(wěn)定性 | 4 K + - 0.2 K |
| 77 K + - 0.1 K |
| 373 K + - 0.08 K |
| 473 K + - 0.1 K |
| 823 K + - 0.2 K(可選) |
| 973 K + - 1.0K(可選) |
常溫到8K冷卻時間: | 1小時40分鐘 |
8K到常溫升溫時間: | 1小時30分鐘 |
從常溫開始的升溫時間 | 200 ℃ 550℃ 700 ℃ |
(4 chuck，單位分：秒) | 1:00 1:30 2:00 |
電源 | 直流 |
材質 | 不銹鋼 |
功率(4chuck) | 850W |
機械規(guī)格
針座行程 |
X軸方向 | 25.4mm(1 inch) |
| 可以選擇50.8mm |
Y軸方向 | 25.4mm(1 inch) |
| 可以選擇50.8mm |
Z軸方向 | 25.4mm(1 inch) |
| 可以選擇50.8mm |
移動精度 |
|
X軸方向 | 10 micron |
| 可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron |
Y軸方向 | 10 micron |
| 可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron |
Z軸方向 | 10 micron |
| 可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron |
探針可旋轉角度 | +-5 度 |
產品介紹
2/4/6寸高端探針臺 晶圓測試探針臺
載物Chuck 溫度范圍：4.2K-480K 外置4個定位針臂 探針X-Y-Z三方向移動，行程：25mm，定位精度：10微米 ***多可以外置6個定位針臂 載物chuck 可到2寸 雙屏蔽chuck高低溫時達到100FA 的測試精度 針臂定位精度可以升***為0.7微米 極限真空到10-10 torr 可以選擇射頻配件做67 GHz的射頻測試 可以選擇防震桌 可以選擇超高真空腔體 客戶訂制 |
光學部件規(guī)格
顯微鏡X-Y軸方向行程 | 2"*2" |
| 可以選擇4"*4" |
總共放大倍率 | 240X |
| 可以選擇更高倍率 |
真空腔觀察窗口 | 2 inch |
| 外部石英材質99%紅外線穿過率 |
| 內部吸收紅外線僅可見光通過 |
光源 | 150W可連續(xù)調節(jié) 雙光纖導引 |
可選附件
防震桌
方形chuck
分子泵組
射頻部件
Chuck可外部移動裝置
客戶定制。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
