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艾里卡特 MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器性能

• 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）

• 可調(diào)比：200：1（MCT系列）或者100：1（MCTS系列）

• 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）

• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）

• 可重復性：0.2%滿量程

• 標準控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）

• 無需預熱時間

艾里卡特 MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器工作條件

• 兼容氣體：98種（MCT系列）或130種（MCTS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

• 工作溫度：-10°C至+60°C

• 大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）

• 耐受壓力：175 psig（190 psia）

• STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

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艾里卡特 MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器：在多向氣體質(zhì)量流量控制器中，MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器可以減少庫存并清理工作場所。位于上游的兩個閥門允許切換氣源。位于下游的兩個閥門允許在單個氣源上運行兩個獨立的過程系統(tǒng)。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)，為您定制閥門和PID功能，確保實現(xiàn)各個方向的快速、溫度控制。