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Brooks GF100 / GF120 / GF125質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體，MOCVD和其他氣體流量控制 需要高純度全金屬流路的應(yīng)用。 Brooks GF100系列質(zhì)量流量控制器和 儀表具有出色的性能，可靠性和靈活性。

選擇GF100系列功能集可直接替換和升 大多數(shù)品牌的金屬密封質(zhì)量流量 控制器，包括前Celerity，UNIT，Tylan和Mykrolis品牌。 具有廣泛的選項(xiàng)和功能 GF100系列可為用戶(hù)提供簡(jiǎn)化和標(biāo)準(zhǔn)化的途徑，從而大大減少了備件，庫(kù)存， 和支持費(fèi)用。

GF125是 二代，多變量，壓力瞬變不敏感質(zhì)量流量控制器。 這個(gè)產(chǎn)品建立 憑借布魯克斯在壓力瞬變不敏感（PTI）質(zhì)量流量控制器技術(shù)中的領(lǐng)導(dǎo)地位，將過(guò)程 小化 壓力和溫度波動(dòng)引起的氣體流量變化。 GF125使客戶(hù)能夠簡(jiǎn)化和減小尺寸 消除了對(duì)使用點(diǎn)壓力調(diào)節(jié)器，壓力傳感器和相關(guān)設(shè)備的需求，從而降低了燃?xì)饷姘宓某杀? 硬件。

GF100系列的應(yīng)用包括：

• 半導(dǎo)體蝕刻工具
• 薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（CVD，MOCVD，PECVD，ALD）
• 物理氣相沉積（PVD）系統(tǒng)
• 外延工藝系統(tǒng)
  
  美***布魯克儀器公司，成立于1946年，專(zhuān)注于創(chuàng)新。他們擁有150多個(gè)有效專(zhuān)利，包括在基本流體測(cè)量和控制技術(shù)方面的多重進(jìn)步。布魯克儀器為流量測(cè)量和控制應(yīng)用提供準(zhǔn)確 可靠的產(chǎn)品。BrooksInstrument是《財(cái)富》 200強(qiáng)公司ITW（伊利諾伊州工具廠）的子公司。ITW是專(zhuān)業(yè)工業(yè)設(shè)備，消耗品和相關(guān)服務(wù)業(yè)務(wù)的 多元化制造商之 ，美***布魯克斯公司已經(jīng) 繁榮了100年，因?yàn)镮TW的每 項(xiàng)業(yè)務(wù)都具有獨(dú)立的企業(yè)***精神和創(chuàng)新自由。